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(原标题:奥特维获得硅片旋转设备和硅片分选机专利,完成对待旋转硅片的主动旋转作用)
金融界2024年1月6日音讯,据国家知识产权局公告,无锡奥特维科技股份有限公司获得一项名为“硅片旋转设备和硅片分选机”,授权公告号CN108493135B,请求日期为2018年4月。
专利摘要显现,本请求提醒了一种硅片旋转设备和硅片分选机,归于硅片分选技术领域。该硅片旋转设备包含旋转驱动部、升降驱动部和旋转渠道,其间:旋转渠道上设置有用于吸附硅片的吸附孔;旋转驱动部与旋转渠道衔接,旋转驱动部带动旋转渠道在水平方向上旋转;升降驱动部一起驱动旋转驱动部和旋转渠道做升降运动。本请求使用旋转驱动部提高旋转渠道以顶起硅片,使用旋转驱动部驱动旋转渠道旋转以带动硅片旋转,达到了不只防止旋转渠道对传输中硅片的影响,还完成了对待旋转硅片的主动旋转的作用。
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